凈化廠房(潔凈區)監測標準表(下篇)
變更記錄 |
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版本號 |
生效日期 |
變更原因、依據及詳細變更內容 |
00 |
2014年1月1日 |
原始版本 |
區域 內容 |
10000級區 |
100級 |
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溫濕度 |
標 準 |
溫度18-26℃,相對濕度45%-65% |
|
|||
測定頻次 |
2次/班(上、下午各一次) |
|
||||
壓差 |
標 準 |
不同潔凈級別≥5Pa、與外界相連≥10Pa,相同潔凈度級別不同功能房間壓差梯度不小于3Pa |
|
|||
測定頻次 |
2次/班(上、下午各一次) |
|
||||
懸浮 粒子 |
靜態標準 (個/m3) |
≥0.5um |
≥5um |
≥0.5um |
≥5um |
|
≤350000 |
≤2000 |
≤3500 |
0 |
|||
測定頻次 |
1次/季度 |
1次/季度 |
||||
動態標準 (個/m3) |
≥0.5um |
≥5um |
≥0.5um |
≥5um |
||
≤3520000 |
≤29000 |
≤3520 |
20 |
|||
測定頻次 |
1次/周 |
1次/周 |
||||
沉降菌 |
靜態標準 (CFU/皿) |
≤3 |
<1 |
|||
測定頻次 |
1次/季度 |
1次/季度 |
||||
動態標準 (CFU/皿) |
≤50 |
平均應<1 |
||||
測定頻次 |
1次/周 |
1次/班 |
||||
浮游菌 |
動態標準 (CFU/ m3) |
≤100 CFU/ m3 |
<1 |
|||
測定頻次 |
1次/周 |
1次/周 |
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